小型快速退火爐
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產品詳情
“小型快速退火爐”參數說明
| 種類： | 感應加熱設備 |
“小型快速退火爐”詳細介紹
此款小型快速退火爐是集成儀 巧妙的結構設計和獨特的加熱方式與一體，使得體積和功率都大幅減小的同時，升降溫速率卻比傳統退火爐提升了數倍之多。它既可以通氣氛又可以抽真空，滿足了很多用戶對小樣品快速退火的工藝要求。
應用範圍：
Ø 快速熱退火 (RTA); 離子注入後退火
Ø 石墨烯等氣象沉積，碳納米管等外延生長
Ø 快速熱氧化 (,RTO); 熱氮化 (RTN);
Ø 矽化 (Silicidation);
Ø 擴散 (Diffusion);
Ø 離子注入後退火 (Implant Annealing);
Ø 電極合金化 (Contact Alloying);
Ø 晶向化和堅化 (Crystallization and Densification);
主要特點：
Ø 極速升溫20℃/S，極速降溫20℃/S；
Ø 控溫穩定，恆溫精度≤1℃
Ø 體積小巧，使用功率只有1kw；
Ø 光線反射效率，無需爐膛保溫；
技術參數：
| 產品名稱 |
mini快速退火爐 |
| 產品型號 |
RTP1000S |
| 極限溫度 |
1000℃ |
| 額定溫度 |
1000℃ |
| 控溫精度 |
±1℃ |
| 快升溫速率 |
20℃/S(900-1000℃升溫3-5℃/S) |
| 快降溫速率 |
隨爐冷卻75℃/min 物料臺拉出降溫800℃/min |
| 控制方式 |
智慧PID |
| 加熱方式 |
短波紅外線加熱 |
| 加熱腔體結構 |
石英管 |
| 樣品冷卻 |
自然冷卻或通入冷卻氣體 |
| 冷卻氣體調節 |
浮子流量計(100～1000ml/min)（選配） |
| 超溫保護 |
溫度出現過高時切斷主迴路 |
| 恆溫區尺寸 |
35mm |
| 載料體尺寸 |
30*25mm |
| 感測器類型 |
K型 |
| 真空系統 |
1L/S 雙級聯真空系統 CHY-4C（選配） |
| 整機真空度 |
3Pa（選配CHY-4C真空泵） |
| 抽氣埠尺寸 |
KF16 |
| 供氣口尺寸 |
1/4英寸雙卡套 |
| 額定功率 |
1.5kw |
| 額定電壓 |
AC220V,50Hz |
| 重量 |
15kg |
| 配件 |
坩堝鉗1把，說明書1本。 |
| 外形尺寸 |
610x400x410（長*寬*高） |
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