三溫區PE-CVD鍍膜設備- 發佈
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產品詳情
“三溫區PE-CVD鍍膜設備- 發佈”參數說明
加工定製: | 是 | 品牌: | 維意真空 |
“三溫區PE-CVD鍍膜設備- 發佈”詳細介紹
三溫區PE-CVD鍍膜設備
三溫區PE-CVD技術參數
名稱 |
規格 |
產品名稱 |
PECVE智慧一體機 |
顯示模式 |
7"真彩觸摸屏液晶顯示(LCD) |
溫度曲線 |
30段"時間—溫度曲線"任意可設 |
預存曲線 |
可預存15條溫度曲線 |
操作界面 |
圖形界面提示,觸摸屏輸入 |
溫度曲線 |
實時監控,動態顯示“時間-溫度曲線” |
超溫報 |
有 |
斷偶提示 |
有 |
測溫元件 |
S型熱電偶 |
升溫速率 |
0-30 ℃/min |
工作電源 |
AC380V /50HZ |
整機功率 |
12KW |
溫度 |
1400℃ |
長期工作溫度 |
1350℃ |
加熱區域 |
三個加熱區域 |
控溫方式 |
模糊PID控制和自整定調節,智慧化30段可編程控制, |
質量流量計:四路 |
型號採用D07-7及對應顯示儀表 儀錶 |
氣體種類 |
:200sccm :100 sccm氮氣:750 sccm氬氣:300 sccm |
射頻電源 |
功率500w,頻率:13.56MHz |
真空計 |
測量範圍0.01-100000Pa |
真空泵 |
TRP-36 |
真空度 |
5Pa |
手持式測溫儀 |
S型熱電偶 長度500mm |
剛玉管 |
100*2000 |
石英管 |
100*2000 |
石英管 |
80*2000 |
軟體功能 |
1:加熱溫區移動速度觸摸屏可以調節。 2:射頻電源開啓時間,可以設定,時間到後自動停止射頻電源。 3:自動切換氣體功能,(不同溫度通入不同氣體,或者根據要 求進行定做)。 4:自動檢測真空度,根據真空度的大小,自動啓動射頻電源。 5:真空泵自動啓動,根據真空度,系統自動判斷是否需要啓動 真空泵。 6:其他功能根據要求定做. |
包裝模式 |
三合板木質包裝箱 |
隨機配件 |
石英舟3只;剛玉坩堝3只;爐鉤一個;高溫手套一套;隨機工具;說明書1份;。 |
三溫區PE-CVD鍍膜設備
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