名稱

規格

產品名稱

PECVE智慧一體機

顯示模式

7"真彩觸摸屏液晶顯示（LCD）

溫度曲線

30段"時間—溫度曲線"任意可設

預存曲線

可預存15條溫度曲線

操作界面

圖形界面提示,觸摸屏輸入

溫度曲線

實時監控，動態顯示“時間-溫度曲線”

超溫報

有

斷偶提示

有

測溫元件

S型熱電偶

升溫速率

0-30 ℃/min

工作電源

AC380V /50HZ

整機功率

12KW

溫度

1400℃

長期工作溫度

1350℃

加熱區域

三個加熱區域

控溫方式

模糊PID控制和自整定調節，智慧化30段可編程控制，

質量流量計：四路

型號採用D07-7及對應顯示儀表 儀錶

氣體種類

：200sccm ：100 sccm氮氣：750 sccm氬氣：300 sccm

射頻電源

功率500w，頻率：13.56MHz

真空計

測量範圍0.01-100000Pa

真空泵

TRP-36

真空度

5Pa

手持式測溫儀

S型熱電偶 長度500mm

剛玉管

100*2000

石英管

100*2000

石英管

80*2000

軟體功能

1：加熱溫區移動速度觸摸屏可以調節。

2：射頻電源開啓時間，可以設定，時間到後自動停止射頻電源。

3：自動切換氣體功能，（不同溫度通入不同氣體，或者根據要

求進行定做）。

4：自動檢測真空度，根據真空度的大小，自動啓動射頻電源。

5：真空泵自動啓動，根據真空度，系統自動判斷是否需要啓動

真空泵。

6：其他功能根據要求定做.

包裝模式

三合板木質包裝箱

隨機配件

石英舟3只;剛玉坩堝3只；爐鉤一個;高溫手套一套;隨機工具;說明書1份;。