源瓶特點：
1、所有管件採用316L不鏽鋼，內部經400目機械拋光和電化學拋光，
Ra≦0.25微米；
2、閥門有美國世偉洛克球閥和隔膜閥、日本富士金隔膜閥和韓國TK
隔膜閥供選擇；
3、密封墊片選用純銀鍍鎳墊片；
4、氦質譜檢測泄漏率≦1.0*10-10mbar L/s；
5、可盛裝化學品純度≧99.9995;
6、總殘餘元素量≦50PPb；
7、墜落試驗，通過國家商檢部門檢測；
8、介質，TMG\TEG\TMA\TMIN\DEE等；
9、可選擇氣動閥門或者實現在注入端子、輸出端子以及介面之間的
交叉清掃處理等；
10、可提供非標定做。