快速熱處理退火爐簡稱 RTP（Rapid Thermal Processing Furnace），由我公司借鑑了國際先進製造工藝，在管式爐的基礎上自主研發而成。這款不但擁有很快的升溫速率100℃/S，而且降溫速率也有了質的飛躍，降溫速率100℃/S。

應用領域

Ø 快速熱退火 (RTA); 離子注入後退火

Ø 石墨烯等氣象沉積，碳納米管等外延生長

Ø 快速熱氧化 (,RTO); 熱氮化 (RTN);

Ø 矽化 (Silicidation);

Ø 擴散 (Diffusion);

Ø 離子注入後退火 (Implant Annealing);

Ø 電極合金化 (Contact Alloying);

Ø 晶向化和堅化 (Crystallization and Densification);

    
主要特點

Ø 極速升溫100℃/S，極速降溫100℃/S；

Ø 雙層爐管結構，氣氛與樣品接觸 均勻；

Ø 樣品實際溫度資料可通過手機APP導出excel表格（選配）；

技術參數：

 

產品名稱	RTP快速升溫爐
產品型號	RTP1100
額定溫度	1100℃
溫場均勻性	±2℃
爐膛升溫速率	≥100℃/S
快降溫速率	≥100℃/S
操控系統	智慧AIO操作系統
操作界面	7英寸觸摸屏
加熱方式	短波紅外線加熱
加熱腔體結構	雙層石英管
外管直徑	100mm
內管直徑	80mm
氣體保護方式	外管進氣，內管出氣
超溫保護	溫度出現過高時切斷主迴路
式樣有效空間	70*100mm
真空系統	8L/S雙級聯真空系統（選配）
整機真空度	3Pa
真空啓動方式	根據程式設置自動啓停
抽氣埠尺寸	KF16
供氣口尺寸	1/4英寸雙卡套
法蘭冷卻方式	水冷（短時間無需水冷）（可選配水冷機）
真空顯示	真空壓力錶（可選配數顯真空計）
上位機操控	基於安卓系統APP（選配）
資料導出方式	APP導出Excel表格（選配）
額定功率	12kw
外形尺寸	950*500*560mm
重量	50kg
配件	管堵2支，法蘭水冷套1支，耐溫手套1雙，坩堝鉗1把，說明書1本。