北京維意真空技術應用有限責任公司

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經營模式: 生產製造

所在地區: 北京市 

認證資訊: 身份認證

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北京維意真空技術應用有限責任公司是ALD原子層沉積鍍膜設備,PECVD設備,磁控濺射鍍膜機的優良生產製造廠家,竭誠爲您提供全新的K型熱電偶真空饋通法蘭,鈣鈦礦熱蒸發鍍膜機,一體式光纖真空饋通法蘭等系列產品。

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手套箱和熱蒸發一體機

圖片審覈中 手套箱和熱蒸發一體機
手套箱和熱蒸發一體機 手套箱和熱蒸發一體機 手套箱和熱蒸發一體機
手套箱和熱蒸發一體機

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價格 面議
起批量 ≥1臺
供貨總量 1臺
產地 北京市
發貨期 自買家付款之日起120天內發貨
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於磊 先生
  • 156****1559

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  • 於磊  先生  (經理)
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  • 傳真:010-67947887
  • 地址: 北京市   大興區 中國北京市大興區舊橋路25號院
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產品詳情

“手套箱和熱蒸發一體機”參數說明

是否有現貨: 傳熱面的形狀: 特殊形式
種類: 感應加熱設備 型號: wayes-YJZ
規格: 3英寸 商標: 維意真空
包裝: 木箱 產量: 12

“手套箱和熱蒸發一體機”詳細介紹

手套箱和熱蒸發一體機基本介紹

本套設備配有8個有機源及2個金屬源

金屬蒸發源和有機蒸發源可按客戶要求配置

膜厚探頭及膜厚儀有國產或者進口可選

金屬蒸發源配有1000w電源

有機蒸發源配有可控溫電源,控溫精度±1℃

手套箱和熱蒸發一體機性能特點
 

真空:極限真空6*10 -5 

        工作真空6*10 -4 

        恢復工作真空時間:連接手套箱≤10分鍾

        不連接手套箱,充乾燥氮氣≤30分鍾

手套箱和熱蒸發一體機技術參數
 
  • 真空熱蒸發鍍膜機系統  
  1. 技術要求:  

1.1真空度: 極限真空< 2.5*10-5Pa,工作真空度< 8*10-4Pa,

抽速:從大氣抽至10-4Pa用時應≤ 30min;  

1.2樣品架:  (1)可對樣品實施360度電動旋轉,轉速可

0 ~ 30轉/min內連續調節。  (2)高度可調,蒸鍍

距離在120-250mm範圍內可調節。  

1.3樣品尺寸:樣品基本尺寸爲15×15mm/塊,可分別承裝如

下數量的樣品:  1)3塊×3塊排列方式,可承裝9塊

/次。  (2)4塊×4塊排列方式,可承裝16塊/次。  

1.4各密封介面真空漏率≤ 5×10-9Torr?L/s(用進口氦質譜

檢漏儀檢測)。  

1.5 膜厚控制設備:膜厚探頭2個,探測資料可同時顯示在膜

厚儀上。  

1.6 樣品臺(基片臺)配備擋板,蒸發源配備可有效防止不同

材料交叉污染的遮擋裝置。  

手套箱和熱蒸發一體機使用說明
 

2.1 真空沉積腔體:具有觀察窗,手動開門設置方便取樣和

進樣。  

2.2鍍膜機與手套箱的連接方式:  要求鍍膜機位於手套箱外

(背後),蒸發室在手套箱內有方形門,可實現樣品由手套

箱內直接傳進蒸鍍室。要求蒸鍍室與箱體之間無泄漏,蒸

鍍室口與手套箱介面密封良好、耐用,無泄漏。  

2.3要求蒸發室在手套箱外另有一個門,手動開門設置,便於

清理和維修操作。  

2.4 蒸發源4套:可蒸發金(Au)、 銀(Ag)、鉻(Cr)、鈦(Ti)、

鋁(Al)、鉑(Pt)、氧化鉬(MoO3)和LiF等材料。蒸發

源相關的其他要求如下:  1)蒸發電極可載入蒸發舟

或者鎢籃,配備標準鉬舟及鎢藍各10個。  (2)蒸發電

1套,可轉換供四套蒸發源使用,可在一次抽真空操作

後實現4種材料的順次蒸鍍,既可連續蒸鍍4層不同材料。  

2.5 真空獲得系統:預抽機械泵1個,分子泵1個以及相應的

附件,分子泵水冷系統;分子泵與沉積室之間具備閉鎖條

件。  

2.6升降樣品架。  

2.7真空測量系統。  

2.8膜厚測試系統。  

2.9工作臺:含真空計,蒸發源電源和相應控制系統,加熱源

控制系統,膜厚測量系統,總電源控制區。  

手套箱和熱蒸發一體機採購須知
 
  • 手套箱  
  1. 金屬薄膜沉積與器件封裝、檢測用手套箱1臺:  
    1. 箱體尺寸:雙工位手套箱,長度約1800 mm。箱體預留鍍膜

機介面法蘭,手套箱後板可安裝一臺鍍膜機,手套箱內具有

安裝器件封裝與性能檢測裝置的空間。  

    1. 配置4隻手套,可方便實現沉積室取送樣品,以及器件封裝

與性能檢測等操作。  

    1. 配置≥ 2套KF40標準接口。  

 

  1. 手套箱技術指標與功能要求:  

2.1箱體材料:不鏽鋼箱體。  

2.2箱體結構:具有可拆卸的 玻璃視窗;配雙層不鏽鋼物

架;帶有 閥;  

2.3密封性:視窗與箱體之間無泄漏,手套口與手套和視窗之

間密封良好、耐用,無泄漏。  

2.4泄露率:≤ 0.05vol%/h,泄漏率可檢測;H2O < 1ppm,

O2< 1ppm。  

2.5 淨化效率:高淨化效率,再生間隔時間長。  

2.6 過渡倉:手套箱的箱體外側各另設置一個過渡艙,過渡倉

尺寸≥ 150mm,長度爲300 mm。

2.7傳送及操作方式:過渡倉內設置可滑動托盤,樣品可通過

移動托盤傳送至手套箱內,托盤易於拆卸;手動操作。  

2.8控制系統用戶友好的中英文操作界面的觸屏。實現以下

控制功能:工作壓力調節、箱內氣體自動清洗、箱內氣氛

自動報 、顯示操作錯誤提示、可手動或自動檢測泄漏率

等。  

2.9 其他附件:  (1)真空泵,氣體純化系統:氣體純化柱、

迴圈風機、有機溶劑吸附柱;  2)水、氧分析儀:分析

儀精度0.2 ppm或以上;分析儀輸出可直接連接到觸摸控制

屏,可對氣體循環系統進行自動控制,實現自動迴圈;可設

定報 值;  3)箱內電源介面:配多孔電源插座。  (4)

手套箱總體功能要求:樣品送入大(或小)過渡倉後,可在

高純氣氛或真空氣氛條件下實現有機薄膜沉積、金屬電極薄

膜沉積、器件封裝及性能檢測等功能。  5)手套箱驗收

標準:使用99.999%惰性氣源,空箱運轉,箱內水氧含量均

小於1ppm。  

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