手套箱和熱蒸發一體機
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產品詳情
“手套箱和熱蒸發一體機”參數說明
是否有現貨: | 否 | 傳熱面的形狀: | 特殊形式 |
種類: | 感應加熱設備 | 型號: | wayes-YJZ |
規格: | 3英寸 | 商標: | 維意真空 |
包裝: | 木箱 | 產量: | 12 |
“手套箱和熱蒸發一體機”詳細介紹
本套設備配有8個有機源及2個金屬源
金屬蒸發源和有機蒸發源可按客戶要求配置
膜厚探頭及膜厚儀有國產或者進口可選
金屬蒸發源配有1000w電源
有機蒸發源配有可控溫電源,控溫精度±1℃
真空:極限真空6*10 -5 帕
工作真空6*10 -4 帕
恢復工作真空時間:連接手套箱≤10分鍾
不連接手套箱,充乾燥氮氣≤30分鍾
- 真空熱蒸發鍍膜機系統
- 技術要求:
1.1真空度: 極限真空< 2.5*10-5Pa,工作真空度< 8*10-4Pa,
抽速:從大氣抽至10-4Pa用時應≤ 30min;
1.2樣品架: (1)可對樣品實施360度電動旋轉,轉速可
在0 ~ 30轉/min內連續調節。 (2)高度可調,蒸鍍
距離在120-250mm範圍內可調節。
1.3樣品尺寸:樣品基本尺寸爲15×15mm/塊,可分別承裝如
下數量的樣品: (1)3塊×3塊排列方式,可承裝9塊
/次。 (2)4塊×4塊排列方式,可承裝16塊/次。
1.4各密封介面真空漏率≤ 5×10-9Torr?L/s(用進口氦質譜
檢漏儀檢測)。
1.5 膜厚控制設備:膜厚探頭2個,探測資料可同時顯示在膜
厚儀上。
1.6 樣品臺(基片臺)配備擋板,蒸發源配備可有效防止不同
材料交叉污染的遮擋裝置。
2.1 真空沉積腔體:具有觀察窗,手動開門設置方便取樣和
進樣。
2.2鍍膜機與手套箱的連接方式: 要求鍍膜機位於手套箱外
(背後),蒸發室在手套箱內有方形門,可實現樣品由手套
箱內直接傳進蒸鍍室。要求蒸鍍室與箱體之間無泄漏,蒸
鍍室口與手套箱介面密封良好、耐用,無泄漏。
2.3要求蒸發室在手套箱外另有一個門,手動開門設置,便於
清理和維修操作。
2.4 蒸發源4套:可蒸發金(Au)、 銀(Ag)、鉻(Cr)、鈦(Ti)、
鋁(Al)、鉑(Pt)、氧化鉬(MoO3)和LiF等材料。蒸發
源相關的其他要求如下: (1)蒸發電極可載入蒸發舟
或者鎢籃,配備標準鉬舟及鎢藍各10個。 (2)蒸發電
源1套,可轉換供四套蒸發源使用,可在一次抽真空操作
後實現4種材料的順次蒸鍍,既可連續蒸鍍4層不同材料。
2.5 真空獲得系統:預抽機械泵1個,分子泵1個以及相應的
附件,分子泵水冷系統;分子泵與沉積室之間具備閉鎖條
件。
2.6升降樣品架。
2.7真空測量系統。
2.8膜厚測試系統。
2.9工作臺:含真空計,蒸發源電源和相應控制系統,加熱源
控制系統,膜厚測量系統,總電源控制區。
- 手套箱
- 金屬薄膜沉積與器件封裝、檢測用手套箱1臺:
- 箱體尺寸:雙工位手套箱,長度約1800 mm。箱體預留鍍膜
機介面法蘭,手套箱後板可安裝一臺鍍膜機,手套箱內具有
安裝器件封裝與性能檢測裝置的空間。
-
- 配置4隻手套,可方便實現沉積室取送樣品,以及器件封裝
與性能檢測等操作。
-
- 配置≥ 2套KF40標準接口。
- 手套箱技術指標與功能要求:
2.1箱體材料:不鏽鋼箱體。
2.2箱體結構:具有可拆卸的 玻璃視窗;配雙層不鏽鋼物
架;帶有 閥;
2.3密封性:視窗與箱體之間無泄漏,手套口與手套和視窗之
間密封良好、耐用,無泄漏。
2.4泄露率:≤ 0.05vol%/h,泄漏率可檢測;H2O < 1ppm,
O2< 1ppm。
2.5 淨化效率:高淨化效率,再生間隔時間長。
2.6 過渡倉:手套箱的箱體外側各另設置一個過渡艙,過渡倉
尺寸≥ 150mm,長度爲300 mm。
2.7傳送及操作方式:過渡倉內設置可滑動托盤,樣品可通過
移動托盤傳送至手套箱內,托盤易於拆卸;手動操作。
2.8控制系統:用戶友好的中英文操作界面的觸屏。實現以下
控制功能:工作壓力調節、箱內氣體自動清洗、箱內氣氛
自動報 、顯示操作錯誤提示、可手動或自動檢測泄漏率
等。
2.9 其他附件: (1)真空泵,氣體純化系統:氣體純化柱、
迴圈風機、有機溶劑吸附柱; (2)水、氧分析儀:分析
儀精度0.2 ppm或以上;分析儀輸出可直接連接到觸摸控制
屏,可對氣體循環系統進行自動控制,實現自動迴圈;可設
定報 值; (3)箱內電源介面:配多孔電源插座。 (4)
手套箱總體功能要求:樣品送入大(或小)過渡倉後,可在
高純氣氛或真空氣氛條件下實現有機薄膜沉積、金屬電極薄
膜沉積、器件封裝及性能檢測等功能。 (5)手套箱驗收
標準:使用99.999%惰性氣源,空箱運轉,箱內水氧含量均
小於1ppm。
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