全自動RCA清洗機-蘇州尚純
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產品詳情
“全自動RCA清洗機-蘇州尚純”參數說明
| 是否有現貨： | 否 | 清洗工序： | 酸洗 |
| 原理： | 其他 | 用途： | 工業用 |
“全自動RCA清洗機-蘇州尚純”詳細介紹
全自動RCA清洗機
適用產業：半導體等
控制模式：手動控制模式、自動控制模式
| 項目 |
資料 |
| 適用對象 |
矽片 2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 藍寶石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 化鎵晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 碳化矽晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 其他襯底晶片 |
| 基本規格 |
機臺封面：瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm） 機臺主體強度結構：整體骨架表面噴塗處理Or China SUS 矩形材 機臺視窗：透明、抗靜電透明PVC（厚度≥5mm）Or China 鋼化玻璃（厚度≥2mm） |
| 選配模組 |
|
| 機臺特點 |
|
| 機械臂裝置 |
Robot的工藝路徑種類 N種（設備出廠前載入PLC內） 機械手傳送定位精度 ≤0.3mm 機械臂走向 右進做出或左進右出 |
| 製程控制 |
PLC控制方式 |
| 操作界面 |
全圖形化中文彩色人機界面（10.4彩屏） |
| 槽體數量 |
根據製程要求選擇定製 |
| 設備製造 |
蘇州尚純半導體設備有限公司 |
全自動RCA清洗機
適用產業：半導體等
控制模式：手動控制模式、自動控制模式
| 項目 |
資料 |
| 適用對象 |
矽片 2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 藍寶石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 化鎵晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 碳化矽晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 其他襯底晶片 |
| 基本規格 |
機臺封面：瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm） 機臺主體強度結構：整體骨架表面噴塗處理Or China SUS 矩形材 機臺視窗：透明、抗靜電透明PVC（厚度≥5mm）Or China 鋼化玻璃（厚度≥2mm） |
| 選配模組 |
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| 機臺特點 |
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| 機械臂裝置 |
Robot的工藝路徑種類 N種（設備出廠前載入PLC內） 機械手傳送定位精度 ≤0.3mm 機械臂走向 右進做出或左進右出 |
| 製程控制 |
PLC控制方式 |
| 操作界面 |
全圖形化中文彩色人機界面（10.4彩屏） |
| 槽體數量 |
根據製程要求選擇定製 |
| 設備製造 |
蘇州尚純半導體設備有限公 |
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