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在使用油擴散泵的高真空環境中都存在着一定的殘餘氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其他高沸點的蒸汽，但其抽除殘餘氣體的能力低，時間長，而且所有殘餘氣體還是工件的污染源，從而使產品的產量和質量受到影響。

深冷泵則是解決這類問題的上佳選擇。深冷泵的工作原理：將一個能到-120℃以下的製冷盤管，放置在真空室中或油擴散泵的泵口，通過其表面的低溫冷凝效應，迅速捕集真空系統的殘餘氣體。

從而大大縮短抽真空的時間（可縮短60-90%的抽氣時間）、獲得潔淨的真空環境（真空度可提高半個數量級，達到10-8　Torr、10-5　Pa）。