Chroma/致茂臺灣7940晶圓檢測系統
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產品詳情
“Chroma/致茂臺灣7940晶圓檢測系統”參數說明
型號: | 7940 | 規格: | 7940 |
商標: | 7940 | 包裝: | 7940 |
“Chroma/致茂臺灣7940晶圓檢測系統”詳細介紹
Chroma/致茂臺灣7940晶圓檢測系統特色:
- 可同時檢測正反兩面晶圓
- 可檢測6吋擴膜晶圓(檢測區域達8吋範圍 )
- 可因應不同產業的晶粒 換或新增檢測項目
- 上片後晶圓自動對位機制 機製
- 自動尋邊功能可適用於不同形狀之晶圓
- 瑕疵規格編輯器可讓使用者自行編輯檢測規格
- 瑕疵檢出率高達98%
- 可結合上游測試機晶粒資料,合併後上傳至下一道製程設備
- 提供檢測報表編輯器,使用者可自行選擇適用資料並進行分析
Chroma 7940晶圓檢測系統爲自動化切割後晶粒 檢測設備,使用先進的打光技術,可以清楚的辨 識晶粒的外觀瑕疵。結合不同的光源角度、亮度 及取像模式,使得7940可以適用於LED、雷射二 極體及光敏二極體等產業。
由於使用高速相機以及自行開發之檢測演算法, 7940可以在3分鍾內檢測完6吋LED晶圓,換算 爲單顆處理時間爲15msec。7940同時也提供了 自動對焦與翹曲補償功能,以克服晶圓薄膜的 翹曲與載盤的水準問題。7940可配置2種不同倍 率,使用者可依晶粒或瑕疵尺寸選擇檢測倍率。 系統搭配的 解析度爲0.5um,一般來說,可 以檢測1.5um左右的瑕疵尺寸。
系統功能
在擴膜之後,晶粒或晶圓可能會產生不規則的 排列,7940也提供了搜尋及排列功能以轉正晶 圓。此外,7940擁有人性化的使用介面可降低 學習曲線,所有的必要資訊,如晶圓分佈,瑕疵 區域,檢測參數及結果,Chroma/致茂臺灣7940晶圓檢測系統均可清楚地透過使用者 介面(UI)呈現。
瑕疵資料分析
所有的檢測結果均會被記錄下來,而不僅只是 良品/不良品的結果。這有助於找出一組 參 數,達到漏判與誤判的平衡點。提供瑕疵原始原 始資料亦有助於分析瑕疵產生之趨勢,並回饋給 製程人員進行改善。
Applications
LED Top Side Defects | |
- Pad Defect - Pad Residue - ITO Peeling - Finger Broken Front side image with co-axis light |
- Mesa Abnormality - Epi Defect - Chipping - Chip Residue Front side image with ring light |
LED Back Side Defects | |
- Dicing Abnormality - Pad Bump Back side image with co-axis light |
- Chipping - Metal Lack Back side image with ring light |
VCSEL Top Side Defercts | |
- Pad Defect - Pad Scratch - Emitting Area Defect - Peeling Front side image with co-axis light |
- Mesa Abnormality - Epi Defect - Chipping - Chip Residue Front side image with ring light |
VCSEL Back Side Defects | |
- Dicing Abnormality - Pad Bump - Chipping - Metal Lack Back side image with ring light |
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