HQA-T系列高溫石英撓性加速度感測器爲單軸力矩反饋式加速度計，通過檢測來檢測外界的加速度，再經伺服電路解調、放大輸出電流正比於加速度。產品廣泛用於高精度導航、石油鑽井測斜或地質勘探。

　　1. 產品特色

　　l 耐高溫

　　l 抗振動和衝擊

　　l 體積小，重量輕

　　l 寬壓供電，功耗低

　　l 模擬電輸出

　　加表類型 T——高溫型 石業

　溫度 T185——185℃

　　T160——160℃

　　T135——135℃

　　T125——125℃

　　法蘭形式 CF—— 圓法蘭 外形尺寸見附圖，可定製

　　直徑或法蘭外形 CF——圓法蘭φ28; 殼體直徑φ25.4

　　CF25——圓法蘭φ28; 殼體直徑φ25

　　SQ30—— 蘭 □29.5

　　SQ28—— 蘭 □28

　　TR—— 三角法蘭

　　國外的石英振樑加速度計的研究始於20世紀80年代，發展到90年代後期基本成熟，並形成了不同應用領域的系列化產品，從導航、飛行控制等中低精度領域擴展到重力測量等高精度領域。國內青島智騰微電子生產的HQA-T系列高溫石英撓性加速度感測器與國內其他競爭對手比較：

　　                                             智騰                        競爭對手

　　K0、K1重複性：                  模擬試驗重複性                   恆定條件重複性

　　失準角：                                                     相同

　　抗衝擊性：                           1000g 0.5ms                       500g 0.5ms

　　K0溫漂：                                                  接近相同

　　K1溫漂：                             整體變化較小                      高溫變化較大

　　功耗電流：                            小於12mA                           小於20mA

　　石英振樑加速度計相比於擺式積分陀螺加速度計、擺式加速度計而言，零件數 少，功耗 低。結構除了兩根諧振樑納米級的微弱振動外，沒有其他的機械磨損部件，也使其具有 長的平均失效時間和 的可靠性。

　　從慣性應用的角度來看，擺式積分陀螺加速度計仍然是高精度的主流技術方案，代表着加速度計水準。導航和級領域是擺式加速度計和振樑加速度計的主陣地，兩種加速度計了廣泛應用。目前，微機電加速度計逐步開始進入級應用領域。

加速度計外框被兩塊呈對稱分佈的磁鋼組件夾在中間，磁鋼組件包括高性磁鋼和鎳鐵合金殼，從而形成加速度計單元的總體結構。在擺片和磁鋼組件之間留有20μm的小間隙，旨在擺片的兩邊構建一個由兩個電容極板組成的， 用於電容檢測和膜阻尼。當檢測被垂直施加加速度時，伺服迴路電路從檢測電容誤差並將電流傳送進擺片兩邊對稱安裝的兩個線圈中。然後，在輸入加速度寬頻帶範圍內(如：典型值>2 kHz)，對線圈施加拉普拉斯力，這樣，檢測將會保持在零位，其中心在零位位置上。當通過線圈的電流與施加的加速度成正比時，同樣流經外部負載電阻的電流會產生與加速度成正比的輸出電壓。