基本介紹

小型實驗室精密刻蝕濺射儀器鄭州科探KT-Z1650PVD，能夠在非導電或導電不良的樣品上塗布金（Au），鈀（Pd），鉑（Pt）和金/鈀（Au / Pd）的薄膜。 在較短時間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜，使樣品適用於掃描電子顯微鏡（SEM）分析。

性能特點

產品特點：

     ？ 彩色觸摸屏：資料輸入簡單快速

     ？ 通過觸摸屏中直觀檢測資料和曲線；歷史頁面可顯示歷史塗層資訊。

     ？ 可控鍍膜速率，可得到精細的晶粒結構

     ？ 可手動或自動，根據時間或根據厚度進行濺射

 ？ 樣品臺換簡單：標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉；行星式旋轉樣品臺爲多孔樣品帶來好的噴金效果。

技術參數

控制方式	7寸人機界面 手動 自動模式切換控制
濺射	直流濺射
鍍膜功能	0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程式
功率	≤1000W
輸出電壓電流	電壓≤1000V  電流≤1A
真空	機械泵 ≤5Pa（5分鍾）   分子泵≤5*10^-3Pa
濺射真空	≤30Pa
擋板類型	電控
真空腔室	石英+不鏽鋼腔體φ160mm x 170mm
樣品臺	可旋轉φ62  （可安裝φ50基底）
樣品臺轉速	8轉/分鐘
樣品濺射源調節距離	40-105mm
真空測量	皮拉尼真空計（已安裝 測量範圍10E5Pa  1E-1Pa）
預留真空介面	KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口

使用說明

儀器結構緊湊，全自動控制，設計符合人體工程學，所得結果一致，可重複性高。

採購須知

公司與國內高校，科研院所有多層次的合作關係，建有開放實驗室，相關領域的教授、高級工程師、博士參與公司產品的研究和開發。我們秉承公司的發展理念，依靠嚴謹的技術研發能力，科學合理的生產工藝，精益求精的製造要求，全心全意做好產品質量和 工作，科探儀器時刻懷着一顆真誠的心期待與您的合作。