KT-Z1650PVD小型實驗室精密刻蝕濺射儀器
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產品詳情
“KT-Z1650PVD小型實驗室精密刻蝕濺射儀器”參數說明
型號: | Kt-z1650PVD | 規格: | 定製 |
商標: | 鄭科探 | 包裝: | 木箱 |
輸出電壓電流: | 電壓≤1000V 電流≤1A | 真空: | 機械泵 ≤5PA(5分鍾) 分子泵≤5*10^-3PA |
濺射真空: | ≤30PA |
“KT-Z1650PVD小型實驗室精密刻蝕濺射儀器”詳細介紹
產品特點:
? 彩色觸摸屏:資料輸入簡單快速
? 通過觸摸屏中直觀檢測資料和曲線;歷史頁面可顯示歷史塗層資訊。
? 可控鍍膜速率,可得到精細的晶粒結構
? 可手動或自動,根據時間或根據厚度進行濺射
? 樣品臺換簡單:標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉;行星式旋轉樣品臺爲多孔樣品帶來好的噴金效果。
控制方式 |
7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 |
濺射 |
直流濺射 |
鍍膜功能 |
0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程式 |
功率 |
≤1000W |
輸出電壓電流 |
電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 |
機械泵 ≤5Pa(5分鍾) 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 |
≤30Pa |
擋板類型 |
電控 |
真空腔室 |
石英+不鏽鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺 |
可旋轉φ62 (可安裝φ50基底) |
樣品臺轉速 |
8轉/分鐘 |
樣品濺射源調節距離 |
40-105mm |
真空測量 |
皮拉尼真空計(已安裝 測量範圍10E5Pa 1E-1Pa) |
預留真空介面 |
KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
公司與國內高校,科研院所有多層次的合作關係,建有開放實驗室,相關領域的教授、高級工程師、博士參與公司產品的研究和開發。我們秉承公司的發展理念,依靠嚴謹的技術研發能力,科學合理的生產工藝,精益求精的製造要求,全心全意做好產品質量和 工作,科探儀器時刻懷着一顆真誠的心期待與您的合作。
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