真空探針臺電子顯微鏡
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產品詳情
“真空探針臺電子顯微鏡”參數說明
| 型號： | Kt-z4019mrl4t | 規格： | 臺 |
| 商標： | 鄭科探 | 包裝： | 木箱 |
| 加熱臺尺寸： | Φ60mm | 內腔體尺寸： | Φ160X90mm |
| 觀察窗尺寸： | Φ70mm |
“真空探針臺電子顯微鏡”詳細介紹
高低溫探針臺系統達到≤10Pa即可進行低溫測試而無凝露或結霜。對於選用了入門級配置的用戶，可選用雙極旋片式機械泵即可達到目標真空度，從而減少設備的配置預算。對於真空度有 要求的用戶，可選用分子泵組對系統進行抽真空。低溫探針臺系統可達10-3Pa。也可選配 真空度的泵組，以滿足測試要求。
爲了減少泵組的振動，我們還專門爲用戶設計了隔振器，地衰減泵組工作時產生的振動，以確保系統的穩定，減少探針的漂移。
可選多種樣品臺配置
普通的樣品夾具。們也提供同軸或三同軸配置的樣品夾具，用於 漏電測試應用中。所有樣品夾具表面均有鍍金層，增強樣品的導電性能
| 真空腔體 |
|
| 腔體材質 |
304不鏽鋼 |
| 上蓋開啓 |
鉸鏈側開 |
| 加熱臺材質 |
304不鏽鋼 |
| 內腔體尺寸 |
φ160x90mm |
| 觀察窗尺寸 |
Φ70mm |
| 加熱臺尺寸 |
φ60mm |
| 觀察窗熱臺間距 |
75mm |
| 加熱臺溫度 |
﹣196~350℃ |
| 加熱臺溫控誤差 |
±1℃ |
| 真空度 |
機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
| 允許正壓 |
≤0.1MPa |
| 真空抽氣口 |
KF25真空法蘭 |
| 氣體進氣口 |
3mm-6mm卡套接頭 |
| 電信號接頭 |
SMA轉BNC X 4 |
| 電學性能 |
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V |
| 探針數量 |
4探針 |
| 探針材質 |
鎢針 |
| 探針尖 |
10μm |
| 探針移動平臺 |
|
| X軸移動行程 |
30mm ±15mm |
| X軸控制精度 |
≤0.01mm |
| Y軸移動行程 |
13mm ±12.5mm |
| Y軸控制精度 |
≤0.01mm |
| Z軸移動行程 |
13mm ±12.5mm |
| Z軸控制精度 |
≤0.01mm |
| 電子顯微鏡 |
|
| 顯微鏡類別 |
物鏡 |
| 物鏡倍數 |
0.7-4.5倍 |
| 工作間距 |
90mm |
| 相機 |
sony 高清 |
| 像素 |
1920※1080像素 |
| 圖像介面 |
VGA |
| LED可調光源 |
有 |
| 顯示屏 |
8寸 |
| 放大倍數 |
19-135倍,視場範圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
應用範圍：
l 光伏工業
l 材料科學
l 光電行業
l 失效分析
l 通信器件測試
l 微機電技術
l 高頻/微波測試
l 半導體技術
待測器件的溫度會受到輻射及周邊部件熱傳導的影響，因此，如果沒有完善的熱錨技術，將無法得到精準可靠的目標溫度。由於感測器只是安裝在恆溫器上，而不是安裝在的溫度實際將比您在控制器上觀察到的溫度要高出許多。
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